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GB/T 17864-1999 标准详情

GB/T 17864-1999 现行
关键尺寸(CD)计量方法
CD Metrology procedures

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标准状态

1999-09-13
2000-06-01

标准信息

国家标准委
国家质量技术监督局
国家标准委
该标准采用国际标准
L56
31.200
国家标准
现行
GB/T 17864-1999
关键尺寸(CD)计量方法
CD Metrology procedures

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