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GB/T 24468-2009 标准详情

GB/T 24468-2009 现行
半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)

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标准状态

2009-10-15
2009-12-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
该标准采用国际标准
L85
17.040.30
国家标准
现行
GB/T 24468-2009
半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)

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