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GB/T 26113-2010 标准详情

GB/T 26113-2010 现行
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

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标准状态

2011-01-10
2011-10-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
L55
31.200
国家标准
现行
GB/T 26113-2010
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
Micro-electromechanical system technology - General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

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