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GB/T 28275-2012 标准详情

GB/T 28275-2012 现行
硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

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标准状态

2012-05-11
2012-12-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
L55
31.200
国家标准
现行
GB/T 28275-2012
硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

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