首页› 电子› GB/T 28276-2012

GB/T 28276-2012 标准详情

GB/T 28276-2012 现行
硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

标准内容导航

标准状态

2012-05-11
2012-12-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
L55
31.200
国家标准
现行
GB/T 28276-2012
硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

相似标准推荐

国家标准
GB/T 24737.9-2012 现行
工艺管理导则 第9部分：生产现场工艺管理
Guide for technological management - Part 9: Technological management of production field
发布日期2012-05-11
实施日期2012-12-01
CCS分类J30
ICS分类25.020
行业标准
LY/T 1068-2022 现行
锯材窑干工艺规程
发布日期2022-09-07
实施日期2023-01-01
CCS分类B90
ICS分类65.020.01
国家标准
GB/T 24737.3-2009 现行
工艺管理导则 第3部分：产品结构工艺性审查
Guide for technological management - Part 3: Review of technological efficiency of product design
发布日期2009-11-30
实施日期2010-09-01
CCS分类J30
ICS分类25.020
行业标准
LY/T 1069-2022 现行
锯材气干工艺规程
发布日期2022-09-07
实施日期2023-01-01
CCS分类B90
ICS分类65.020.01
国家标准
GB/T 29535-2013 现行
温锻冷锻联合成形工艺 工艺编制原则
Technological design principle for combined warm-cold forging process
发布日期2013-06-09
实施日期2014-03-01
CCS分类J32
ICS分类77.140.85
地方标准
DB41/T 2136-2021 现行
高速公路基础设施数据库编目编码规则
发布日期2021-04-12
实施日期2021-07-12
CCS分类P66
ICS分类93.080