GB/T 32815-2016 标准详情

GB/T 32815-2016 现行

硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范

Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process

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发布日期2016-08-29

实施日期2017-03-01

批准发布部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号L55

国际标准分类号31.200

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 32815-2016

标准名硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范

标准英文名Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process