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GB/T 32817-2016 标准详情

GB/T 32817-2016 现行
半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

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标准状态

2016-08-29
2017-03-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
该标准采用国际标准
L55
31.080.99
国家标准
现行
GB/T 32817-2016
半导体器件 微机电器件 MEMS总规范
Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

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发布日期2011-12-30
实施日期2012-08-01
CCS分类A80
ICS分类11.100