GB/T 34899-2017 标准详情

GB/T 34899-2017 现行

微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

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发布日期2017-11-01

实施日期2018-05-01

批准发布部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号L55

国际标准分类号31.200

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 34899-2017

标准名微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

标准英文名Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy