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GB/T 38447-2020 标准详情

GB/T 38447-2020 现行
微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

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标准状态

2020-03-06
2020-07-01

标准信息

国家标准委
国家标准委
L55
31.200
国家标准
现行
GB/T 38447-2020
微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

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