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GB/T 42158-2023 标准详情

GB/T 42158-2023 现行
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

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标准状态

2023-03-17
2023-07-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
该标准采用国际标准
L59
31.080.99
国家标准
现行
GB/T 42158-2023
微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法
Micro-electromechanical systems technology（MEMS） —Description and measurement methods for micro trench and pyramidal needle structures

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