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GB/T 43493.1-2023 标准详情

GB/T 43493.1-2023 现行
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类
Semiconductor device—Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices—Part 1: Classification of defects

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标准状态

2023-12-28
2024-07-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
国家标准委
该标准采用国际标准
L90
31.080.99
国家标准
现行
GB/T 43493.1-2023
半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第1部分：缺陷分类
Semiconductor device—Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices—Part 1: Classification of defects

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