GB/T 44919-2024 标准详情

GB/T 44919-2024 现行

微机电系统（MEMS）技术薄膜力学性能的鼓胀试验方法

Micro-electromechanical systems （MEMS）technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films

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发布日期2024-11-28

实施日期2024-11-28

批准发布部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

是否采用国际标准该标准采用国际标准

中国标准分类号L59

国际标准分类号31.080.99

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 44919-2024

标准名微机电系统（MEMS）技术薄膜力学性能的鼓胀试验方法

标准英文名Micro-electromechanical systems （MEMS）technology—Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films