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GB/T 44928-2024 标准详情

GB/T 44928-2024 现行

微电子学微光刻技术术语

Terms of microlithography technology for microelectronics

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标准状态

发布日期2024-12-31

实施日期2024-12-31

标准信息

批准发布部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号L90

国际标准分类号31.030

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 44928-2024

标准名微电子学微光刻技术术语

标准英文名Terms of microlithography technology for microelectronics

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CCS分类G38

ICS分类83.180