SJ/T 11451-2022 标准详情
SJ/T 11451-2022
现行
扩散炉能源消耗规范
标准内容导航
标准状态
标准信息
适用范围
适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉
起草单位
北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司
起草人
李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳
相似标准推荐
下载电子版
正在请求下载信息...