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SJ/T 11516-2015 现行
薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

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标准状态

2015-04-30
2015-10-01

标准信息

工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
L90
31.030
产品标准
电子
行业标准
现行
SJ/T 11516-2015
薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

起草单位

深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

万承华、张沛、熊启龙 等

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