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SJ/T 11554-2015 现行
用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

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标准状态

2015-10-10
2016-04-01

标准信息

工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
L90
31.030
方法标准
电子
行业标准
现行
SJ/T 11554-2015
用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量

起草单位

苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等

起草人

刘兵、钱森林、王洪华 等

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