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SJ/T 11576-2016
《SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范》标准查询解读、电子版标准下载
SJ/T 11576-2016
现行
喷雾式涂覆设备通用规范
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标准信息
相似标准
标准状态
发布日期
2016-01-15
实施日期
2016-06-01
标准信息
批准发布部门
工业和信息化部
技术归口
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制修订
制定
中国标准分类号
L95
国际标准分类号
31.550
标准类别
产品标准
标准分类
电子
标准层级
行业标准
标准状态
现行
标准号
SJ/T 11576-2016
标准名
喷雾式涂覆设备通用规范
起草单位
沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人
贺立波、徐春旭、汪明波 等
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风筒涂覆布
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实施日期
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ICS分类
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ICS分类
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