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SJ/T 11761-2020 标准详情

SJ/T 11761-2020 现行
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

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标准状态

2020-12-09
2021-04-01

标准信息

工业和信息化部
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
制定
L95
31.55
产品标准
电子
行业标准
现行
SJ/T 11761-2020
200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

适用范围

适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口

起草单位

上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等

起草人

胡松立、郑教增、冯亚彬 等

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