《SJ/T 11853-2022 正压悬浮区熔单晶硅炉》标准查询解读、电子版标准下载

SJ/T 11853-2022 现行
正压悬浮区熔单晶硅炉

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标准状态

2022-10-20
2023-01-01

标准信息

工业和信息化部
制定
L97
31.22
产品标准
电子
行业标准
现行
SJ/T 11853-2022
正压悬浮区熔单晶硅炉

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