T/CSTM 00537-2021 标准详情
T/CSTM 00537-2021
现行
微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法
Phase transition temperature measurement of micro-nano thin film -Optical power analysis
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标准状态
标准信息
适用范围
本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。 本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试,薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行。
主要技术内容
本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试,薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行。
起草单位
华中科技大学、中国计量科学研究院、武汉嘉仪通科技有限公司、深圳中国计量科学研究院技术创新研究院、暨南大学、中国计量大学、成都理工大学、广西大学
起草人
缪向水、任玲玲、童浩、李硕、王愿兵、蔡自彪、金森林、乐松、王建峰、张景基、李小平、龙剑平、陶小马、余志高
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