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GB/T 40109-2021 标准详情

GB/T 40109-2021 现行
表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon

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标准状态

2021-05-21
2021-12-01

标准信息

中国科学院
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
该标准采用国际标准
G04
71.040.40
国家标准
现行
GB/T 40109-2021
表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Method for depth profiling of boron in silicon

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