T/CASME 1953-2025 标准详情
T/CASME 1953-2025
现行
半导体设备用全氟醚橡胶密封制品
Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment
标准内容导航
标准状态
标准信息
适用范围
本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
主要技术内容
本文件适用于工作温度范围为-45?℃～320?℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。
起草单位
江苏多肯新材料有限公司、安徽多肯创新科技有限公司、扬州曼特勒尔材料科技有限公司
起草人
刘韬、徐丹、刘雪莲
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