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GB/T 31225-2014 标准详情

GB/T 31225-2014 现行
椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer

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标准状态

2014-09-30
2015-04-15

标准信息

中国科学院
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国科学院
J04
17.040.01
国家标准
现行
GB/T 31225-2014
椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer

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