GB/T 31227-2014 标准详情

GB/T 31227-2014 现行

原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

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发布日期2014-09-30

实施日期2015-04-15

批准发布部门中国科学院

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口中国科学院

中国标准分类号J04

国际标准分类号17.040.20

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 31227-2014

标准名原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

标准英文名Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films