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GB/T 37959-2019 标准详情

GB/T 37959-2019 现行
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design

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标准状态

2019-08-30
2020-03-01

标准信息

中国机械工业联合会
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
J07
35.240.50
国家标准
现行
GB/T 37959-2019
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design

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