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GB/T 5226.33-2017 标准详情

GB/T 5226.33-2017 现行
机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

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标准状态

2017-10-14
2018-05-01

标准信息

中国机械工业联合会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
中国机械工业联合会
该标准采用国际标准
J09
29.020
国家标准
现行
GB/T 5226.33-2017
机械电气安全 机械电气设备 第33部分：半导体设备技术条件
Electrical safety of machinary—Electrical equipment of machines—Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment

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