GB/T 16596-2019 标准详情

GB/T 16596-2019 现行
确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinate system

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标准状态

2019-03-25
2020-02-01

标准信息

国家标准委
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H80
29.045
国家标准
现行
GB/T 16596-2019
确定晶片坐标系规范
Specification for establishing a wafer coordinate system

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