GB/T 29505-2013 标准详情

GB/T 29505-2013 现行
硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

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标准状态

2013-05-09
2014-02-01

标准信息

国家标准委
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
国家标准委
H80
29.045
国家标准
现行
GB/T 29505-2013
硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer

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