GB/T 29507-2013 标准详情

GB/T 29507-2013 现行

硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法

Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning

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发布日期2013-05-09

实施日期2014-02-01

批准发布部门国家标准委

发布部门中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号H80

国际标准分类号29.045

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 29507-2013

标准名硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法

标准英文名Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning