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GB/T 41652-2022 标准详情

GB/T 41652-2022 现行

刻蚀机用硅电极及硅环

Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine

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标准状态

发布日期2022-07-11

实施日期2023-02-01

标准信息

批准发布部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号H82

国际标准分类号29.045

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 41652-2022

标准名刻蚀机用硅电极及硅环

标准英文名Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine

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