GB/T 43313-2023 标准详情

GB/T 43313-2023 现行

碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法

Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics

标准内容导航

发布日期2023-11-27

实施日期2024-06-01

批准发布部门国家标准委

发布部门国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

技术归口国家标准委

中国标准分类号H21

国际标准分类号77.040

标准层级国家标准

标准状态现行

标准号GB/T 43313-2023

标准名碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法

标准英文名Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics