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YS/T 1025-2015 现行
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

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标准状态

2015-04-30
2015-10-01

标准信息

工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
制定
H63
77.150.99
制造业
产品标准
有色金属
行业标准
现行
YS/T 1025-2015
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

适用范围

本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材,以下简称高纯钨及钨合金靶。

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等

起草人

姚力军、王学泽、丁照崇等

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