《YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材》标准查询解读、电子版标准下载
YS/T 1053-2015
现行
电子薄膜用高纯钴靶材
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标准状态
标准信息
适用范围
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
起草单位
宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司
起草人
王学泽、李勇军、郑文翔等
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