《YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉》标准查询解读、电子版标准下载
YS/T 1068-2015
现行
制备钌靶用钌粉
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标准状态
标准信息
适用范围
本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉（以下简称钌粉）。
起草单位
贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人
谭志龙、郭俊梅、熊晓东等
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