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YS/T 14-2015 现行
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

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标准状态

2015-04-30
2015-10-01

标准信息

工业和信息化部
全国有色金属标准化技术委员会
修订
H21
77.040.
制造业
方法标准
有色金属
行业标准
现行
YS/T 14-2015
异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

适用范围

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、葛华等

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