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YS/T 987-2021 现行
氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法

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标准状态

2021-12-02
2022-04-01

标准信息

工业和信息化部
修订
H17
77.040.30
制造业
方法标准
有色金属
行业标准
现行
YS/T 987-2021
氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法

适用范围

本文件适用于氯硅烷中碳杂质（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，统称甲基氯硅烷）含量的测定，测定范围（质量分数）为0.000 010%～0.10%。

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