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GB/T 18682-2002 标准详情

GB/T 18682-2002 现行
物理气相沉积TiN薄膜技术条件
Specifications of physical vapour deposition TiN films

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标准状态

2002-03-10
2002-08-01

标准信息

中国机械工业联合会
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国机械工业联合会
A29
25.220.20
国家标准
现行
GB/T 18682-2002
物理气相沉积TiN薄膜技术条件
Specifications of physical vapour deposition TiN films

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