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GB/T 42106-2022 标准详情

GB/T 42106-2022 现行
纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

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标准状态

2022-12-30
2023-07-01

标准信息

中国科学院
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
中国科学院
A42
07.030
国家标准
现行
GB/T 42106-2022
纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation

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