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资源简介
摘要：本文件规定了用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器的技术要求、测试方法、质量评定程序以及标志、包装、运输和贮存要求。本文件适用于通信系统中使用的MEMS体声波滤波器和双工器。
Title：Semiconductor Devices - Microelectromechanical Devices - Part 7: MEMS Bulk Acoustic Wave Filters and Duplexers for RF Control and Selection
中国标准分类号：L80
国际标准分类号：31.140 -
封面预览
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拓展解读
GBT 42709.7-2023主要内容
本标准规定了用于射频控制和选择的MEMS体声波（BAW）滤波器和双工器的设计、制造、测试和应用要求。
与老版本的主要变化
- 设计规范: 新版本增加了对高频段性能优化的设计指南，提升了滤波器在5G通信中的适用性。
- 材料要求: 对MEMS器件使用的压电材料提出了更严格的纯度和稳定性要求，以提高长期可靠性。
- 测试方法: 引入了新的测试流程，包括更高频率范围内的阻抗匹配测试和温度循环测试。
- 应用场景: 扩展了滤波器的应用场景，特别针对物联网设备和移动通信设备进行了优化。
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半导体器件 微电子机械器件 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器和双工器 GBT 42709.7-2023
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