MEMS
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SJ 21266-2018 MEMS陀螺仪测试方法
测试
方法
MEMS
978浏览行业标准-电子L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
SJ 21264-2018 MEMS加速度传感器测试方法
加速度
传感器
测试
742浏览行业标准-电子L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
SJ 21265-2018 MEMS陀螺仪参数标定工艺技术要求
标定
工艺技术
参数
716浏览行业标准-电子L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
SJ 21262-2018 MEMS惯性器件芯片在片测试技术要求
惯性
器件
芯片
958浏览行业标准-电子L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
SJ 21261-2018 MEMS惯性器件结构设计要求
惯性
结构设计
器件
1001浏览行业标准-电子L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
SJ 21171-2016 MEMS惯性器件光刻工艺技术要求
光刻
惯性
工艺技术
943浏览行业标准-电子L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
SJ 21166-2016 MEMS惯性器件划片工艺技术要求
划片
惯性
工艺技术
907浏览行业标准-电子L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
SJ 21167-2016 MEMS惯性器件圆片键合工艺技术要求
惯性
工艺技术
器件
559浏览行业标准-电子L15电子元器件与信息技术 - 电子元件 - 敏感元器件及传感器
JJF 1535-2015 微机电(MEMS)陀螺仪校准规范
校准
微机
MEMS
508浏览国家计量技术规范A53综合 - 计量 - 力学计量
JJF 1427-2013 微机电(MEMS)线加速度计校准规范
校准
微机
MEMS
862浏览国家计量技术规范A57综合 - 计量 - 时间、频率计量
MEMS三轴加速度计误差标定与补偿方法研究
MEMS
三轴加速度计
误差标定
12浏览2025-07-20上传pdf1.52MB共5页未评分
MEMS微热板研究进展
MEMS
微热板
热特性
10浏览2025-07-20上传pdf1.02MB共5页未评分
MEMS矢量水听器敏感结构的后CMOS释放工艺研究
MEMS
矢量水听器
敏感结构
7浏览2025-07-20上传pdf2.67MB共4页未评分
MEMS磁电耦合矢量水声传感器研制
MEMS
磁电耦合
矢量水声传感器
13浏览2025-07-20上传pdf0.57MB共4页未评分
三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究
MEMS
红外光源
三端梁结构
11浏览2025-07-20上传pdf8.76MB共4页未评分