MEMS
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MEMS三轴加速度计误差标定与补偿方法研究
MEMS
三轴加速度计
误差标定
3 浏览量2025-07-20上传pdf1.52MB共5页暂未评分
MEMS微热板研究进展
MEMS
微热板
热特性
3 浏览量2025-07-20上传pdf1.02MB共5页暂未评分
MEMS矢量水听器敏感结构的后CMOS释放工艺研究
MEMS
矢量水听器
敏感结构
1 浏览量2025-07-20上传pdf2.67MB共4页暂未评分
MEMS磁电耦合矢量水声传感器研制
MEMS
磁电耦合
矢量水声传感器
1 浏览量2025-07-20上传pdf0.57MB共4页暂未评分
三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究
MEMS
红外光源
三端梁结构
3 浏览量2025-07-20上传pdf8.76MB共4页暂未评分
基于MEMS声敏结构的光纤声波传感器
MEMS
光纤传感器
声波检测
1 浏览量2025-07-20上传pdf1.86MB共16页暂未评分
基于MEMS谐振式气压传感器的数字高度计研制
MEMS
谐振式气压传感器
数字高度计
1 浏览量2025-07-20上传pdf1.29MB共4页暂未评分
基于RLM的MEMS三轴磁力计标定方法
RLM
MEMS
三轴磁力计
3 浏览量2025-07-20上传pdf3.17MB共28页暂未评分
基于多层嵌套环驻波特性的MEMS应力隔离结构设计
MEMS
应力隔离
环形结构
2 浏览量2025-07-20上传pdf3.23MB共28页暂未评分
基于微机电系统(MEMS)的磁通门传感器研究进展
MEMS
磁通门传感器
微机电系统
0 浏览量2025-07-20上传pdf1.2MMB共28页暂未评分
基于纳米铂黑材料的超高辐射率MEMS红外光源研究
MEMS
红外光源
纳米铂黑
1 浏览量2025-07-20上传pdf0.64MB共5页暂未评分
多倍频程MEMS硅基微带环行器设计
MEMS
硅基
微带环行器
3 浏览量2025-07-20上传pdf1.7MMB共20页暂未评分
新型MEMS仿生声敏感芯片设计与晶圆级测试
MEMS
仿生声学
芯片设计
3 浏览量2025-07-20上传pdf1.36MB共4页暂未评分
金属氧化物半导体MEMS气体传感器研究进展
金属氧化物
MEMS
气体传感器
2 浏览量2025-07-20上传pdf9.27MB共14页暂未评分
MEMSSi-Microphone(Sensor)相位实测及影响因素的讨论
MEMS
Microphone
Sensor
1 浏览量2025-07-19上传pdf1.78MB共8页暂未评分