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摘要:本文件规定了四探针探头的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体材料电阻率测量用的四探针探头。
Title:General Technical Requirements for Four-Point Probe
中国标准分类号:M63
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
SJT 10315-1992《四探针探头通用技术条件》规定了四探针探头的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等内容。适用于半导体材料电阻率测试用的四探针探头。