资源简介
摘要:本文件规定了利用俄歇电子能谱术进行深度剖析的原理、方法、样品制备要求、数据分析及结果解释。本文件适用于材料科学、化学、物理学等领域中对固体表面及近表面区域成分分析的需求。
Title:Guide for Depth Profiling by Auger Electron Spectroscopy
中国标准分类号:L80
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
在遵循“SJT 10457-1993 俄歇电子能谱术深度剖析标准导则”的前提下,通过优化流程和资源配置,可以在保证质量的同时降低成本并提高效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。
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