资源简介
摘要:本文件规定了用黄磷发光法测定电子级气体中痕量氧的原理、仪器、试剂及操作步骤。本文件适用于电子工业中对气体纯度要求较高的场合,如半导体制造过程中使用的惰性气体中痕量氧的测定。
Title:Determination of Trace Oxygen in Electronic Grade Gases - Phosphorus Luminescence Method
中国标准分类号:C61
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
SJ 3236-1989 标准规定了通过黄磷发光法测定电子级气体中痕量氧的方法。该方法利用黄磷在特定条件下与氧气反应发光的特性,从而定量分析气体中的氧含量。