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资源简介
摘要：本文件规定了用黄磷发光法测定电子级气体中痕量氧的原理、仪器、试剂及操作步骤。本文件适用于电子工业中对气体纯度要求较高的场合，如半导体制造过程中使用的惰性气体中痕量氧的测定。
Title：Determination of Trace Oxygen in Electronic Grade Gases - Phosphorus Luminescence Method
中国标准分类号：C61
国际标准分类号：71.040.50 -
封面预览
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拓展解读
主要内容
SJ 3236-1989 标准规定了通过黄磷发光法测定电子级气体中痕量氧的方法。该方法利用黄磷在特定条件下与氧气反应发光的特性，从而定量分析气体中的氧含量。
对比与老版本的变化
- 测试原理: 新版标准对黄磷发光的反应条件进行了优化，提高了检测的灵敏度和准确性。
- 设备要求: 对实验仪器提出了更严格的要求，确保测量结果的可靠性。
- 操作步骤: 明确了操作流程，减少了人为误差的可能性。
- 数据处理: 引入了新的数据分析方法，使结果更加精确。
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