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  • SJ 3237-1989 电子级氩中痕量氧的测定方法.氩离子化气相色谱法

    SJ 3237-1989 电子级氩中痕量氧的测定方法.氩离子化气相色谱法
    电子级氩痕量氧气相色谱法氩离子化纯度分析
    24 浏览2025-06-07 更新pdf0.18MB 未评分
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    摘要:本文件规定了采用氩离子化气相色谱法测定电子级氩中痕量氧的测定方法,包括仪器要求、操作步骤及结果计算。本文件适用于电子工业中对高纯度氩气质量控制的检测。
    Title:Determination of Trace Oxygen in Electronic Grade Argon - Argon Ionization Gas Chromatography Method
    中国标准分类号:H61
    国际标准分类号:71.040.50

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    SJ 3237-1989 电子级氩中痕量氧的测定方法.氩离子化气相色谱法
  • 拓展解读

    常见问题解答 (FAQ)

    SJ 3237-1989 电子级氩中痕量氧的测定方法. 氩离子化气相色谱法 是一种用于检测电子级氩气中痕量氧气含量的标准方法。以下是与该标准相关的常见问题及其解答。

    1. SJ 3237-1989 的主要用途是什么?

    该标准主要用于测定电子级氩气中的痕量氧气含量。它适用于需要高纯度氩气的行业,例如半导体制造和气体分析领域。

    2. 什么是氩离子化气相色谱法?

    氩离子化气相色谱法是一种利用气相色谱技术结合氩离子化检测器来定量分析氩气中痕量氧气的方法。其原理是通过色谱柱分离不同气体组分,并利用氩离子化检测器对氧气进行特异性检测。

    3. 为什么需要测定氩气中的痕量氧气?

    • 氧气会对电子器件的生产过程产生负面影响,例如氧化金属材料或影响半导体性能。
    • 痕量氧气的存在可能降低氩气的纯度等级,从而不符合某些高端应用的要求。

    4. 如何确保测定结果的准确性?

    • 使用符合标准要求的仪器设备,并定期校准。
    • 严格控制样品采集和处理过程,避免外界污染。
    • 采用已知浓度的标准气体进行校准。

    5. 氩离子化气相色谱法与其他方法相比有哪些优势?

    • 灵敏度高,能够检测极低浓度的氧气。
    • 选择性好,可以有效区分氩气和其他可能存在的杂质气体。
    • 自动化程度高,操作简便,适合大批量样品分析。

    6. 在实际操作中,如何避免测量误差?

    • 确保样品容器清洁无污染。
    • 避免样品在运输和储存过程中受到水分或其他杂质的影响。
    • 严格按照标准操作规程执行实验步骤。

    7. SJ 3237-1989 是否适用于其他气体的分析?

    该标准仅适用于电子级氩气中痕量氧气的测定,不适用于其他气体的分析。如果需要测定其他气体中的氧气含量,需参考其他相关标准。

    8. 如何判断样品是否符合电子级氩气的质量要求?

    根据 SJ 3237-1989 的规定,样品中的氧气含量必须低于特定限值(通常为 ppm 级别)。如果测定结果满足此限值,则可判定样品合格。

    9. 如果没有氩离子化检测器,能否使用其他检测器替代?

    不能。氩离子化检测器是该方法的核心部件,其特异性对于痕量氧气的检测至关重要。如果没有氩离子化检测器,建议改用其他适用的标准方法。

    10. 如何获取 SJ 3237-1989 标准文件?

    可以通过国家标准化管理机构或相关行业协会获取该标准文件。部分图书馆或在线数据库也可能提供下载服务。

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