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摘要:本文件规定了采用氩离子化气相色谱法测定电子级氩中痕量氧的测定方法,包括仪器要求、操作步骤及结果计算。本文件适用于电子工业中对高纯度氩气质量控制的检测。
Title:Determination of Trace Oxygen in Electronic Grade Argon - Argon Ionization Gas Chromatography Method
中国标准分类号:H61
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
SJ 3237-1989 电子级氩中痕量氧的测定方法. 氩离子化气相色谱法 是一种用于检测电子级氩气中痕量氧气含量的标准方法。以下是与该标准相关的常见问题及其解答。
该标准主要用于测定电子级氩气中的痕量氧气含量。它适用于需要高纯度氩气的行业,例如半导体制造和气体分析领域。
氩离子化气相色谱法是一种利用气相色谱技术结合氩离子化检测器来定量分析氩气中痕量氧气的方法。其原理是通过色谱柱分离不同气体组分,并利用氩离子化检测器对氧气进行特异性检测。
该标准仅适用于电子级氩气中痕量氧气的测定,不适用于其他气体的分析。如果需要测定其他气体中的氧气含量,需参考其他相关标准。
根据 SJ 3237-1989 的规定,样品中的氧气含量必须低于特定限值(通常为 ppm 级别)。如果测定结果满足此限值,则可判定样品合格。
不能。氩离子化检测器是该方法的核心部件,其特异性对于痕量氧气的检测至关重要。如果没有氩离子化检测器,建议改用其他适用的标准方法。
可以通过国家标准化管理机构或相关行业协会获取该标准文件。部分图书馆或在线数据库也可能提供下载服务。