资源简介
摘要:本文件规定了采用变温浓缩色谱法测定电子级氩中痕量氮的试验方法。本文件适用于电子工业中使用的高纯度氩气中痕量氮含量的测定,浓度范围一般为ppm级或更低。
Title:Determination of Trace Nitrogen in Electronic Grade Argon - Cryogenic Concentration Chromatography Method (Part 2)
中国标准分类号:H31
国际标准分类号:71.040.50
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拓展解读
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