资源简介
摘要:本文件规定了溅射离子泵的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以钛为主要吸气材料的溅射离子泵。
Title:Vacuum Technology - Sputter Ion Pump
中国标准分类号:J80
国际标准分类号:23.160
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拓展解读
JBT 4081-2011《真空技术 溅射离子泵》是对原标准的更新版本,旨在规范溅射离子泵的设计、制造和测试要求。该标准适用于在真空技术领域中使用的溅射离子泵。
该标准主要包括以下几个方面:
相比之前的版本,JBT 4081-2011有以下主要变化: