资源简介
摘要:本文件规定了TDR系列直拉法单晶炉的术语和定义、型号命名、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于采用直拉法(Cz法)生产单晶硅的单晶炉。
Title:TDR Series Czochralski Monocrystal Furnace
中国标准分类号:H23
国际标准分类号:25.160
封面预览
拓展解读
在遵循JBT 10439-2004标准的前提下,通过优化核心业务环节,可以有效提升效率并降低成本。以下是10项可行的弹性方案。