直拉法
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水冷套对直拉法单晶硅生长过程氧杂质输运的影响
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直拉法单晶硅生长过程中实时监测结晶界面形状的方法
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直拉法单晶硅生长原理、工艺及展望
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单晶硅生长
晶体缺陷
31浏览2025-07-20上传pdf7.15MB共52页未评分
JBT 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉
单晶炉
直拉法
TDR系列
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JBT 12068-2014 TDR-Z直拉法锗单晶炉
锗单晶炉
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TDR-Z
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TZZB 0648-2018 200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
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TNXCL 017-2022 300 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
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TNXCL 016-2022 200 mm重掺锑直拉硅单晶抛光片
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TNXCL 29-2024 300 mm低氧含量直拉硅单晶抛光片
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