资源简介
摘要:本文件规定了硅抛光片表面质量的目测检验方法,包括检验条件、操作步骤和结果判定。本文件适用于直径不超过300mm的硅抛光片表面缺陷的目测检验。
Title:Visual Inspection Method for Surface Quality of Silicon Polished Wafers
中国标准分类号:H52
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵守 GBT 6624-1995 硅抛光片表面质量目测检验方法 核心原则的基础上,可以通过优化流程和降低成本提升效率。以下是基于核心业务环节提出的10项弹性方案。