资源简介
摘要:本文件规定了碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试方法,采用共焦点微分干涉法进行检测。本文件适用于碳化硅抛光片的质量评估和性能分析。
Title:Test of Surface Quality and Micropipe Density for Silicon Carbide Polished Wafers by Confocal Differential Interference Contrast Method
中国标准分类号:J74
国际标准分类号:25.160
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拓展解读
在遵循 GBT 43313-2023 标准的前提下,通过灵活调整测试流程和资源配置,可以有效降低测试成本并提升效率。以下是基于共焦点微分干涉法的10项弹性方案:
通过上述弹性方案的应用,可以在保证测试质量的同时,显著降低测试成本,并提高整体运营效率。
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